Погрешностями формы плоских поверхностей являются:
неплоскостность, т. е. отклонение от плоскости — наибольшее расстояние от точек реальной поверхности до прилегающей плоскости;
непрямолинейность — отклонение от прямолинейности — наибольшее расстояние от точек реального профиля до прилегающей прямой.
Различают следующие отклонения от правильного положения поверхностей:
непараллельность —отклонениеотпараллельности либо плоскости, либо оси поверхности вращения и плоскости. Непараллельность характеризуется разностью наибольшего  и наименьшего — / расстояний между плоскостью и осью поверхности вращения на заданной длине;
неперпендикулярность — отклонение от перпендикулярности плоскостей, осей или оси и плоскости — отклонение угла между плоскостями, осями или осью и плоскостью от прямого угла (90°), выраженное в линейных единицах на заданной длине , где А — неперпендикулярность,  заданная длина.
несоосность — отклонение от соосности относительно базовой поверхности — наибольшее расстояние между осью рассматриваемой поверхности и осью базовой поверхности на всей длине рассматриваемой поверхности или расстояние между этими осями в заданном сечении;
При обработке на шлифовальных станках встречаются с комплексными погрешностями, которые складываются из погрешностей формы и положения. К таким погрешностям отнссятся:
торцовое биение — разность наибольшего и наименьшего расстояний А от точек реальной торцовой поверхности, расположенных на окружности заданного диаметра до плоскости, перпендикулярной к базовой оси вращения.